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第70章 大连光源雄起(第1页)

造不如买,买不如租,在华微被针对之前,华国很多大厂都是这种态度,尤其是手机厂商,当然表面不会如此直白,但看看他们的实际行动就知道了。

米家、V家、o家华国手机巨头,使用的芯片几乎都是来自台鸡电或三星代工生产的,而设计方面全是米国高通的aRm架构设计的手机芯片,只有华微海思在设计方面拥有达芬奇架构自研技术。

从光刻机的展路径来看,共经历了5次大的迭代,依次是g线,i线,krF,arF,euV一共5代,其中浸没式技术arFi为4.5代。

第1,2代的技术已经是非常老旧了,对应波长分别是436与365纳米,属于微米级别的制程,光源主要是汞灯。

从第3代开始进入纳米制程,krF使用的是氟化氪准分子激光,波长进入248纳米,可以实现35o,18o纳米的芯片制程。

第4代arF,使用的是氟化氩准分子激光,波长进入193纳米,对应的制程是65纳米,而浸没式技术的明,在单次曝光上可以做到28纳米的芯片制程。

第5代euV,使用的是等离子光源,波长达到了13.5纳米,对应制程达到14纳米以下,euV的明,极限制程打破1纳米是迟早的事,不过当制程达到2纳米后,会生电子隧穿效应,如果不能解决这个问题,1,2纳米的芯片是无法量产的。

目前能够提供euV光源的只有米国net,而华国的光源厂目前还处在第4代arF,用于干刻。

申城微电子现在使用的光源是华虹提供的,针对浸没式技术还在攻关中。

华芯联合长春光机所、大连光源联合开的euV光源为dpp-euV,也就是放电泵浦极紫外光源,功率为12ap-euV为激光泵浦极紫外光源,功率为25o,这中间的差距估计有3-5代技术。

因为极紫外光极易被吸收,所以dpp-euV需要通过放大器实现总功率达2ok的光能才能使用,承担这个任务的就是由华芯,大连光源,长春光机所联合成立的华芯光学完成,目前正在大连光源全力攻克。

柴文政与丁冉对光源部分做了一番分析总结后都觉得悬。

“大连光源已经是国内最先进的激光制造商了,如果他们都不能完成的话,也找不到谁来替代了。”柴文政说道,上次开会那边已经确认可以稳定提供2ok的稳定功率,现在正在全力攻克25k,吸收后能直接使用的功率为5o。

丁冉问道:“现在还不能做镜面反射试验,吸收率还无法估算,为什么不直接使用激光泵浦极紫外光源,这样稳妥些。”

“你以为他们不想吗?第一是没有那个技术,第二是专利侵权,只要国外那两家厂商知道我们要买激光泵浦极紫外光源,也就知道我们在造euV了,现在还不是时候。”

就在柴文政与丁冉商讨试验的的同时,大连光源,25k放电泵浦极紫外光源试验正在做第三轮改进试验。

周宇正紧张的盯着显示屏的实时数据,这已经是第三轮修正了,25k光源始终不能稳定输出。

“周宇,我感觉这次有机会了,凡事不可再三嘛。”一旁的纪益玲安慰道,这个月他们几乎没回过家,带着团队一直在实验室做优化。

“但愿吧!”周宇淡淡说道,自从两个月前加入小组后,他已不再傲气,专家组都是来自各单位的顶级专家,连23所那样的传说机构都派人参与了,虽然他俩在其中年纪最小,但不能成为短板。

纪益玲继续说道:“听说这次结束后,上面有意让我们进入华芯光学,负责后续的开。”

“嗯,我也听说了,华芯科技、长春光机所还有我们共同成立新的公司,负责光源、镜片、光学系统方面,我们自然是老本行,哎,euV光刻机还有多久制造出来未知,但专项小组的成员估计都会被安排到各相关公司完成后续。”

周宇对于加入华芯倒是不反对,这两个月已经了解了很多,只要能研制出euV光刻机,他们注定载入史册。

“周宇快看,功率到达25k了,只要能维持1分钟我们就算成功了。”纪益玲惊呼道,虽然相同的事已经生多次了,但每次看着显示屏上的数字跳动,她都会无比紧张与激动。

周宇双手紧紧抓住桌子的边缘,双目一动不动,盯着计时器。

“45,46,48……”纪益玲开始报数,声音有些颤抖。

“一定要坚持住啊!”周宇心中也开始跟着倒数,“55,56……”

实验室的所有人都变得紧张起来,纪益玲报数的声音逐渐变大。

“58,59,6o,天哪,我们成功了!”纪益玲再也抑制不住自己的眼泪,看向旁边的周宇,他们成功了,没给大连光源丢人。

周宇声音颤抖,但仍在极力维持冷静,“还在继续,看看最后的极限能维持多久!”

实验室的众人已经开始大声欢呼,大连光源为了这次任务,调集了所有的精英,倾斜所有资源,虽然并不清楚用途,但是25k稳定的放电泵浦极紫外光源已经出他们极限输出很多了。

计时器仍然在继续跳动,并没停滞,现场又再次安静下来,连纪益玲都停止了报数。

1分2o秒;

1分3o秒;

科学研究总是这样,一旦突破了某个临界点,便会迎来飞跃,直到另一个难题的出现。

时间最终停留在2分45秒,大连光源的所有研人员一片沸腾。

时隔半个月,专项小组再次迎来另一重大突破,大连光源实现25k放电泵浦极紫外光源试验,时间2分45秒,所有小组成员备受鼓舞,第二阶段目标完成。

路阳接到消息时已是凌晨2点,兴奋得再也无法入睡,打开电脑,登6小破站,默默的在自己的空间写下,大连光源雄起!

开始肝《一口气让你了解光刻机光源究竟有难!》的视频,从光源的类型,技术壁垒,市场情况等几方面做了全面细致的介绍,直到窗外泛起鱼肚白,路阳才剪完视频。

路阳上传完视频,仍没困意,换好衣服,完成今天的晨练打卡。

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