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第57章 三次曝光极限（第1页）

实验机的组装与激光器那边都需要时间，没有完整的设备，路阳不能触系统，帮不上什么忙。

按专项小组那边的进度，距离euV光刻机的落地还有很长一段时间，路阳现在能做的事便是把9o纳米duV光刻机的精度升级到45纳米或者28纳米，要做到这件事只能改造苏硅那边的其中一台机子，利用系统来实现，前提是得有技术团队的帮忙，廖老那边暂时也抽不开身。

“华芯的研团队，不知道现在有这没这方面的人才，我这老板当得可真是失败啊。”

路阳暗自想着，在研方面，一直以来都太依靠专家组了，虽然与他的最终目的并无冲突，但没有自己的研团队，事情只能单线运行。

其实华国本来就没有关于光刻机方面的研人员，就算路阳有这个意愿，短期内也不可能找到适合的人，挖国外的专家对于他来说并不适用，泄密可能性太大了。

正当路阳在苦思如何解决研团队的时候，接到了刘永锐的电话，说他跟海思那边的何洪年会一起到申城拜访路阳。

兴许是上次小小的不愉快，让何洪年找了个中间人，瞌睡来了送枕头，路阳瞬间就来了精神，约在华大九天上海公司见面，这样都不会尴尬。

路阳还是那套普通的休闲着装，随便套了件高领毛衣加深色外套，黑色的双肩包，季一楠给他买的那些职业套装一穿上便觉得迈不开腿。

这还是他第一次到华大九天的申城公司，位于中科路，离华芯投资并不远。

看到背着双肩包的路阳，前台笑盈盈起身相迎，“请问，您是路总吗？”

“你认识我？”路阳还是第一次被前台这样对待，心中暗爽，我果然脱离了宅男的范畴。

“刘总打过招呼了，请您跟我来吧！”

华大九天申城公司规模并不大，跟着前台穿过大厅的工位，来到总经理办公室。

还是那对组合，华微海思总裁何洪年，集团副总倪雅南。

刘永锐起身给路阳来个结实的拥抱，“才一个月不到，你小子感觉变壮了不少。”

“锐哥好，最近一直在锻炼呢！”说完又对另外两人打了个招呼，“何总，倪总，没想到这么快又见面了。”

倪雅南起身，微笑着伸出手，“路总，上次太过匆忙，华芯帮了我们这么大的忙，今晚一定要聚一下。”

路阳礼貌性的与对方握了下手，说道：“二位是从深城赶过来的吧，远来是客，锐哥也算一个，今晚我请！”

何洪年正欲起身握手，刘永锐伸手压住了他的肩膀，“别搞得跟商业谈判那样，大家都是搞技术的，小路是我弟，别跟他客气。”

路阳也不太习惯应酬，“何总是前辈，直接叫我小路就好，这样轻松些。”

“既然你是老刘的兄弟，那我就不跟你客气了，小路，上次是我莽撞了些，别往心里去。”

何洪年已经从任老那里得到了想要的答案，上面就给两个字，可信。

“年哥说的哪儿话，本来就没事！”

众人一番寒暄后，刘永锐便直接说道：“小路，这次叫你过来呢，主要是之前谈的那台光刻机的事。”

“年哥这边准备好了？”路阳并没提改造。

倪雅南说道：“这次回去跟任老汇报了苏硅的事，除了感谢之外，任老也托我转告路总一句话，无论是华微还是华芯，都是华国的企业，这条路上，我们不再孤独。”

素未谋面，华芯能得到任老的认可，路阳内心有些感动。

“谢谢任老，华芯才刚刚起步，还需华微在前面指引。”

何洪年微笑着说道：“小路，这次到申城，就两件事，第一件便是duV光刻机的事，第二件事便是在euV光刻机的研上，有需要的尽管开口，无论是人还是钱，我们都一定鼎力支持。”

听到对方说起euV，知道内情的刘永锐赶紧说道：“老何，第二件事华微这边暂时还是不要插手了，我之前也跟你说过，不能让别人知道。”

华微的研团队来，有很大一部分是高薪聘请来的国外顶级专家，这种事情马虎不得。

“我明白的，这件事现在整个华微就只有任老与我们两人知道，消息不可能泄密。”何洪年语气极为认真，任老在确认消息后，对他们二人下了死命令，只要外卖有传消息，无论是否与他们有关，都必须担责。

路阳也反应过来，上次确实是他冲动了，“我们还是回到第一件事上吧，海思这边是什么想法。”

这是路阳第二次正式的询问。

“把麒麟98o全面改用华大九天eda软件，使用苏硅的生产线代工，当然，我们仍然会继续让台鸡电的代工，华芯将作为我们的第一备份。”

这下轮到路阳跟刘永锐感到震惊了，这完全就是孤注一掷了。

麒麟98o是华微2o18年8月才布的7纳米精密制程芯片，对标的是高通845，采用海思自研的达芬奇架构npu。

“7纳米，三次极限曝光，老何，这太激进了，可能性太低。”

路阳也并非当初的那个技术小白，明白9o纳米的duV光刻机通过三次曝光实现7纳米制程只存在于理论上，哪怕海思实力再强，都不一定能设计出来，而且就算真的做出来，成本太过高昂，良品率估计也好不在哪里去。

既然华微这边有了这种觉悟，路阳也不再藏着。

“何总，三次曝光确实机会渺茫，不过如果我们先把精度提高到45纳米或者28纳米，7纳米的精密制程就不再是难题了。”

路阳没等几人询问，继续说道：“现在我们在镜片工艺上有了突破，只需要解决镜头组装，工件台与控制系统问题就行，这方面华微这边有没机会？”

无论是何洪年还是刘永锐，对光刻机的原理都不陌生，最关键的部分解决，软件方面他们经验都相当丰富。

何洪年也算是逐渐熟悉路阳的说话风格了，并未怀疑。

“这个方案确实把握性更大，镜头组装方面与控制系统海思这边一定能攻克，华微的工程师有一定的经验。”

路阳暗下决心，搞了。

“不过，我有一个要求！”