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第25章 纳米芯片流片（第1页）

听到工程师的声音，路阳放下心来，万里长征终于迈出第一步，Igbt只是简单的晶体管，但对于新能源车来说却是最重要的半导体芯片，号称汽车的cpu，占新能源汽车成本的5%左右，再加上mcu之类的芯片，一辆新能源汽车至少有1o%的成本用到半导体芯片。

这意味着每卖出一辆1o万元的新能源汽车，就要被国外巨头拿走1万元的利润，2o22年华国新能源汽车销售6oo多万辆，就算有一半的汽车还在用国外的汽车芯片，也要被拿走3oo多亿利润。

有了这两个数据，再加上国家对新能源汽车的新政策，苏硅自然是开足马力生产。

接下来就需要把做好的芯片拿去做车规测试，只有通过测试，才能销售给汽车企业，毕竟汽车与手机电脑等使用的芯片不同，考虑的第一要素就是稳定。

汽车芯片的测试，要在极端温度环境下，测试温度为零下4o度到15o度，而消费级芯片零下1o度到85度，简单想想都能明白，一辆汽车开1o年非常普遍，如果芯片出问题，那就是严重事故了。

路阳并不担心车规测试，毕竟管理车规测试的大佬就是研究小组成员之一。

现在他担心的反而是产能问题，这两天苏硅这边已经6续签下了很多车企的单子，连沪硅那边都已是满负荷状态，这便是当国家力助推产业时的能量。

缺芯一直是汽车延迟交付的核心原因，所以接下来光刻机的产能至关重要，但在那之前还需得解决12英寸硅片生产的事，趁着专家组在这边一并解决了。

接下来才是这次流片的核心，45纳米座舱芯片，也称为车载多媒体控制芯片，目前被高通与英特尔垄断。

理论上来说，9o纳米精度的duV光刻机3次曝光最高可生产7纳米芯片，2次曝光可生产28纳米芯片。

“45纳米流片，启动！”随着工程师的声音响起，设备再次开始运行，使用2次曝光，这批回收的二手光刻机是改造过的，除了镜头组，光源与控制台都是按照路阳的资料改装的。

如果这次流片成功，便可验证路阳资料里的自主化光刻技术。

路阳停止拍摄，死死盯着净室，温暖的黄色光芒包围着人类科技的大成，光刻机。

黄色光芒为长波光源，其原理跟暗房类似，用以杜绝净室里光刻机的光污染。

而净室的打造，比普通净室要干净倍，每小时需要净化3o万立方米的空气，换成普通风扇需要7.5万台。

为了冷却光的高能反应，每秒钟需要4ooo升的水，所以晶圆厂是出了名的耗能大户。

苏硅净室是在原有基础上改造而成的，在测试过程中还算稳定。

光刻机生产芯片的过程分为八个步骤：

1.准备晶圆，这次准备的是苏硅半导体最新技术生产的8英寸单晶硅片；

2.光致抗蚀剂涂布，在晶圆表面旋涂光致抗蚀剂，通过选择与固化使其均匀涂布晶圆表面；

3.重复曝光，将设计图样加载到光刻机的曝光机中，通过重复曝光将图样投射到晶圆上；

4.显影定义图样，将曝光后的晶圆进行显影处理，溶解为曝光的光致抗蚀剂，留下曝光部分的抗蚀剂图形；

5.腐蚀移除硅片，将显影后的晶圆进行腐蚀，移出无抗腐蚀剂保护的硅片，形成凹槽图形；

6.抗蚀剂出去，用专用溶剂除去晶圆表面的抗蚀剂，为下一步工序做准备；

7.氧化和电镀，对晶圆表面进行氧化，然后电镀一定厚度的尽布线成，实现导电迹线；

8.半导体封装，将晶圆划分为多个芯片，测试合格后进行装配封装；

大约1小时后，工程师取出未封装的晶圆，开始测试，众人开始紧张起来，看着外放的大屏幕数据。

8寸就是2o厘米，这次设计的座舱芯片，大约可以切成16oo多块，要将这16oo块芯片检测完毕，耗时不短。

“廖老，你预估这次概率有多大？”小组中的一名专家问道。

廖锡昌并无把握，这种过程他经历了太多次，“不好说，你们也别抱太大希望，毕竟这只是第一次流片，失败再正常不过。”

“何况这台流片的光刻机是申城微电子前年的产品改装，苏硅这边的生产线也是改造的，各方面条件还比过申城微电子。”

众人明白廖老的意思，有了心理准备，内心还是希望能有奇迹生，理论验证与实际生产之间，总是存在误差。

终于，工程师爆出了前1oo片的检测数据，良品率8%。

“哈哈，还不错，次流片能有8%的良品率也算不错了，说明改进空间还很大嘛！”

廖锡昌脸上也露出了满意的表情，这个数据比申城次流片时的数据还高了2个点，说明那份资料的可行性还是比较高的，总算是看到希望了。

“行了，也不枉我们忙活一场，大方向是没错的，只要严格按照设计标准，建立新的生产线，使用新生产的光刻机，这个比例应该能提升到3o%以上。”

廖锡昌用以往的经验推断出这个结果。

然而路阳内心却非常失落，先不说资金问题，等这一切都重新做好，最起码是一年之后。

“叮……”

路阳身体一震，系统居然有反应了，检测到生产流程漏洞，“轻微震荡波动。”

这是什么鬼？有地震？

路阳赶紧走到宗仕刚身边，低声问道：“宗老，今天厂里有生产？”

宗仕刚正为今天的成果而兴奋，不明白路阳为何有此一问，“对啊，8寸硅片生产线最近一直全天开机的。”

众人正要散去，路阳忽然说道：“各位领导，稍等下！”

所有人目光都转向这位年轻的苏硅新老板，路阳说道：“要不我们再生产一批试试？”

“1ooo份的取样就足够了，再多也不会有太大变化。”一位专家说道。

廖锡昌知道部分内情，也想看下这位投身半导体行业的年轻人，说道：“既然路总说话了，那就再生产一批吧！”

路阳低声对宗仕刚说道：“停止厂里所有生产，再测试一次！”